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リアクティブイオンエッチング装置 0901エレクトロニクス関連機器・装置／千歳科学技術大学

半導体や電子デバイスの微細加工に用いる
装置チャンバー内でプラズマ（放電）を発生させ、その内部で生成したイオンやラジカルを利用して処理物を加工するエッチング方法
仕様：[処理能力]φ2×10枚φ3×5枚φ4×3枚電極間距離可変機能有[均一性]5％以下(SiO2)

■利用料：要相談

リアクティブイオンエッチング装置 0901エレクトロニクス関連機器・装置／千歳科学技術大学

DVD、CDのスタンパー作成用の原盤のエッチングやHDDヘッドの加工、光導波路の製作、各種センサーの製作
Si、Poly-Si、SiO2、Si3N4などの各種シリコン薄膜の高精度エッチングを目的としたリアクティブイオンエッチング装置
仕様：[処理能力]8インチウエハー×1[ガス種]ArO2H2CH4CHF3

■利用料：要相談

ダイシングソー 0110粉砕・分級機器／千歳科学技術大学

シリコンウエハ等をチップ状に分割するために用いられる
フランジの内側にブレードと呼ばれるダイアモンド砥石が取り付けられこれを高速回転させて集積回路を形成した単結晶シリコンウエハを賽の目状に分割する。50μm以下の厚みで正確に切り出すことが出来、刃厚は20〜60μmで、切りしろを最小限にすることが出来る
仕様：[切削可能範囲]Ｘ軸:220mmY軸:162mm[移動分解能]Ｚ軸:0.0001mm[スピンドル最大回転数]40000rpm

■利用料：要相談

赤外線加熱単結晶製造装置（FloatingZone炉） 0102熱処理用機器／千歳科学技術大学

ＴｉＡｌMoSi2等の金属間化合物ならびにAｌ2O3等のセラミックスの作製
光を集光して無機化合物を溶かし再結晶化させることで単結晶を作製することができる
仕様：[光源]キセノンランプ[最高加熱温度]2700℃[結晶成長速度]0.2〜50mm/h

■利用料：要相談

触針式表面形状測定器 0506工業量測定・試験機器／千歳科学技術大学

直径150mm以下の基板上に形成された、膜厚段差、表面形状、あらさ、うねりの測定
直径150mm以下の基板上の膜厚段差、表面粗さ、うねりなどを高精度に測定できる触針式の表面形状測定器。サンプル観察用にカラーズームカメラを標準装備
仕様：[垂直分解能/測定レンジ]1Å/65kÅ10Å/655kÅ40Å/2620kÅ[測定長さ]50μm〜30mm[最大サンプリングデータ数]30000点

■利用料：要相談

走査型プローブ顕微鏡 0403電磁気分析装置／千歳科学技術大学

原子・分子像の微細構造まで試料処理を行うことなく観察を行う事が出来る
大気圧中で観察可能な走査型プローブ顕微鏡でヘッドを交換することにより走査型トンネル顕微鏡（STM）と原子間力顕微鏡（AFM）の両方の観察ができる
仕様：[分解能]AFM原子分解能STM原子分解能[試料サイズ]10×10×3mm[走査範囲]10〜80μm

■利用料：要相談

X線解析装置 0403電磁気分析装置／千歳科学技術大学

金属、地質・鉱物、セラミックス、化学、電気・電子工学など
原子間の距離と同程度の波長のＸ線を用い、そのＸ線の入射角を連続的に変えて試料に照射し、回折してくるＸ線を測定し、入射角と回折Ｘ線強度の関係を示す回折図形を得る
仕様：[定格出力]2kW[管電圧設定]20kW〜60kW[管電流設定]2mA〜50mA空冷式冷却送水装置付

■利用料：要相談

走査型近接場光学顕微分光システム 0114顕微鏡・光学検査機器／千歳科学技術大学

極微小領域での観察、キャラクタリゼーションに用いる
近接場プローブ先端に発生した近接場光を利用して、試料表面の極微小領域を光励起して発生する、蛍光やフォトルミネッセンスを分光測定することができる
仕様：[波長分解能]0.5nm以下[測定波長範囲]500〜1000nm(使用するプローブに依存)(使用するプローブに依存)[検出器]電子冷却または液体窒素冷却マルチチャンネルCCD検出器

■利用料：要相談

分光蛍光光度計 0402光分析装置／千歳科学技術大学

ライフサイエンス医薬食品化学環境といった微量分析に適している
高スループット光学系と低ノイズ信号処理系により高感度な蛍光測定が可能（ＳＮ比：200）。また、高分解(1.0nm)、リン光測定対応、高速時間変化測定対応、バリデーション用低圧水銀ランプ内蔵などの優れた機能を有する。
仕様：[S/N]200[波長範囲]励起・蛍光側220-750nm[スペクトルバンド幅]励起側：1351020nm蛍光側：510nm

■利用料：要相談

顕微赤外測定システム 0402光分析装置／千歳科学技術大学

有機物、プラスチック等の分析、同定を行う
フーリエ変換を利用して赤外光の各波長における吸収強度を調べる装置。原子どうしの結合はそれぞれ赤外線領域に固有の振動数を持っているが、この振動数を測定することで、分子内の結合に関する情報を得ることができる
仕様：[波数範囲]7800cm-1〜350cm-1[分解]0.5cm-11cm-12cm-14cm-18cm-116m-1[波数精度]±0.125cm-1以下

■利用料：要相談

表面分析装置 0402光分析装置／千歳科学技術大学

仕事関数やイオン化ポテンシャルの絶対値、フェルミ準位近傍の電子状態密度を大気中にて測定できる
大気中において、紫外線励起による光電子数を計測し、サンプル表面を分析するもので、低エネルギー電子計数装置を用いたもの
仕様：[光源]重水素ランプ[エネルギー走査範囲]3.40〜6.20eV[分光器]グレーティングモノクロメーター[最大サンプ形状]150mm角、厚さ15mm

■利用料：要相談

顕微分光システム 0402光分析装置／千歳科学技術大学

ラマン分光法を用いて化学分析や分子構造の決定を行う
低波数域でのマルチチャンネル測定が可能な差分散モードをはじめ、高分解能が得られる加分散モード、通常の差分散モードよりもさらに広い波長範囲が同時測定できる低分散グレーティング採用などCCDの性能を十分に発揮させることができる
仕様：[光学配置]トリプルモノクロメータ[焦点距離]640mm[測定可能波長範囲]0〜1000nm[波数分解能と精度]それぞれ0.15cm-1と0.1cm-1[CCD検出器]2000×800ピクセル

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赤外励起顕微ラマン装置 0402光分析装置／千歳科学技術大学

ラマン分光法を用いて化学分析や分子構造の決定を行う。
近赤外線を用いるため、通常の可視ラマン装置に比べ、蛍光の影響を受けにくく、InGaAsMCDディテクタを用いるにより高性能である。
仕様：[波長]1064nm[焦点距離]320mm

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走査型電子顕微鏡 0403電磁気分析装置／千歳科学技術大学

無機系材料の表面を高倍率で観察する
(１)EDXを用いた迅速元素分析(２)WDXを用いた軽元素分析(３)微量元素の精密分析(４)全画像に対し、デジタル保存、画像回折可能
仕様：[分解能]3.0nm[加速電圧]0.5-30ｋV[観察倍率]15倍-200000倍[最大試料寸法]150ｍｍΦ

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3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡 0403電磁気分析装置／千歳科学技術大学

非蒸着で観察できるため、無機系材料のみならず、有機系材料の表面を高倍率で観察することが可能
電子銃から電子ビームを試料表面上で走査させることで、発生した二次電子を検出し、画像化する。
仕様：[分解能]30nm[加速電圧]0.5〜20KV[倍率]15〜100000倍[観察範囲]9（H）×7（V）mm〜1.3（H）×1（V）μm

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屈折率・膜厚測定装置 0503光学特性・測色計測機器／千歳科学技術大学

相対的に厚い膜や光吸収の大きい膜（単独の膜を含む）の膜厚と屈折率を簡便に測定できるため、生産ラインまたは研究開発の分野におけるフォトレジスト、ポリイミド、その他のポリマーの測定
誘電体及びポリマーの膜厚と屈折率を同時に測定できる装置
仕様：[屈折率測定範囲]1.00〜3.20[屈折率精度]±0.001[膜厚測定範囲]0.35〜15μ[膜厚精度]±(0.5%±50Å)

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熱分析装置 0405熱分析・熱測定装置／千歳科学技術大学

測定試料と基準物質との間の熱量の差を計測することで、融点やガラス転移点などを測定。様々な材料の熱分解や脱水などの現象の定性、定量測定が可能。
試料の加熱・冷却時の硬化反応温度、熱酸化分解温度といった反応温度や反応熱などの化学的変化の他、融点、凝固点、液晶転移点、固相転移点などの物理的変化も測定可能
仕様：[測定温度範囲]DSC:室温〜600℃（液化窒素使用時：-140〜600℃）TGA：室温〜1000℃[熱流量検出範囲]±40mW

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核磁気共鳴装置 0403電磁気分析装置／千歳科学技術大学

通常の測定核種は１Ｈ、１３C、31Pですが、多核測定、温度可変測定、長時間測定も可能
有機化合物において、1Hおよび13Cの核磁気共鳴吸収が観測でき、化学シフトの位置、スピン−スピン相互作用および積分強度を測定することによって、試料の分子構造に関する知見が得られ、またその共鳴吸収の強さから定量的知見が得られる。
仕様：[使用周波数]400MHz

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蛍光顕微鏡 0805イメージング関連機器／千歳科学技術大学

分子ナノ集合体の観察
微弱な蛍光シグナルを鮮明に捉える高いS/NとUVからIRまでのより幅広い波長域でフラットで高い透過率を実現した光学系、デジタルイメージングの為の最適化された照明系を有する顕微鏡。
仕様：[光源]100Wハロゲンランプ[倍率]4×〜50×

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ガスクロマトグラフ直結型質量分析計 0403電磁気分析装置／東海大学

概要参照
揮発性物質の分離を行うとともに、個々の化合物の構造解析、定量に用いられる。また、単離された化合物の直接導入分析も可能。
仕様：[測定範囲]

■利用料：料金設定未定

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